真空泵油的性能要求
润滑。摩擦面的摩擦磨损、表面疲劳磨损以及腐蚀磨损等都与润滑条件有关。表现佳的真空油有利于抑制腐蚀磨损；可以有效地减轻黏着磨损和表面疲劳磨损；流体润滑剂对摩擦---有清洗作用，也可减轻摩擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源，减少磨损，以延长机械寿命。
降温冷却。降低摩擦面的温度是润滑的一个重要作用。摩擦面运动时必训克服摩擦力而做功，消耗在克服摩擦力上的功全部转化为热量，其结果将引起摩擦面温度上升，摩擦热的大小与润滑状态有关，黏度高的热量很大，黏度低的热量很小，而边界摩擦的热量则介于两者之间。由此可见，用合适黏度的真空油不仅可以实现液体润滑，减少摩擦热的产生，而且还可以将摩擦热及时地带出泵体外。
真空泵油的主要性能
真空泵油， ---总压强和的---分压力
---的总压力:皮拉尼真空计和热电偶真空计测量所有材料真空泵(气)总压强。目前，测试强调总压强指数。
---的分压力:水星压缩真空计(麦克劳德压力计)---空气测量泵压力，双旋转叶片泵压力应小于6 * 10-5kpa。总压强之间的区别和---压力不超过一个数量级。两者之间的差异越大，真空泵油含有更多的挥发性成分，油的性质就越低。
对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻
爱发科真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，里其乐super-lube100真空泵油，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4)在化学工业、医
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
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