目前---的罗茨泵,多数为卧式结构,泵的进气口在上,哈尔滨阿尔卡特真空泵,排气口在下,这种卧式结构重
泵的传动多为直联式的,大泵则有皮带传动的。电动机与传动齿轮,多设在转子轴的两侧,安装拆卸方便。主动轴传递的扭矩较大,轴要有足够的强度和刚度,轴与转子要固结牢靠。罗茨泵的密封很关键,主动轴外伸部分、两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封,泵腔与各端盖设有静密封。
旋片式真空泵真空泵(2张)( sliding vane rotary vacuum pump )
具有结构紧凑,体积小,重量轻,噪音低,振动小等优点。所以,它适用于作扩散泵的前级泵,而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如:质谱仪器,冰箱流水线,真空冷冻干燥机等。
罗茨真空泵( roots vacuum pump )是一种旋转式变容真空泵,阿尔卡特真空泵代购,须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内,有较大的抽速,阿尔卡特真空泵批发价,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵,需要用前级泵辅助。如:水环式真空泵,阿尔卡特真空泵报价,滑阀真空泵,立式无油真空泵,分子真空泵等。国内---罗茨真空泵保持纪录为20000l/s。
分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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