阿尔卡特真空泵供应商-方欧真空科技-珠江阿尔卡特真空泵_苏州真空泵

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水环真空泵原理与优缺点分析

水环真空泵的原理：

　　泵体充满适量的水作为工作流体。当叶轮沿图中所示方向顺时针旋转时，水被叶轮甩出。由于离心力的作用，水形成了一个厚度大致相等的闭合环，这是由泵室的形状决定的。水环的上部正好与叶轮轮毂相切，而水环的下部正好与叶尖接触(实际上，叶片有一定的穿透---)。此时，在叶轮轮毂和水环，之间形成一个新月形空间，该空间被叶轮分成几个叶片数量相等的小腔。如果叶轮的上部是0作为起点，当叶轮旋转180之前，小腔的体积由小变大，并与端面上的吸入口连通。这时，气体被吸入，当吸入结束时，小腔从吸入口被阻塞。当叶轮继续旋转时，珠江阿尔卡特真空泵，小腔由大变小，气体被压缩;当小腔与排气口连通时，气体从泵中排出。

分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，阿尔卡特真空泵零售价，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

leyss莱宝真空泵主要型号leyss莱宝真空泵主要型号:

sogevac系列单级油封璇片真空泵：sv10 sv16 sv25 sv40 sv65 sv100 sv200 sv300 sv500 sv580 sv630 sv750 sv1200

trlvac c系列双级油封璇片泵：d2 d4 d8 d9 d16 d25 d30 d40 d60 d65 d90

ruvac系列罗茨泵：wa/wau 150/151/250/251/500/501/1000/1001/2000/2001

德国leyss莱宝真空泵性能参数德国leyss莱宝真空泵性能参数:

抽速：16m 3 /h---1400m 3 /h

---真空度：sv16，sv25，阿尔卡特真空泵出售，sv40，sv65，sv100的---真空度为<0.5 mbar (无气镇分压强)

<1.5 mbar (带气镇分压强)

sv200，sv300，sv500，sv630，阿尔卡特真空泵供应商，sv750，sv1200，sv1400的---真空度为

<8*10 -2 mbar (无气镇分压强)

<7*10 -1 mbar (带气镇分压强)

排水蒸气能力：0.3--23公斤/小时

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